在開發(fā)和生產(chǎn)過程中，半導體設備和部件應進行交變高低溫試驗。交變高低溫箱是完成本試驗的關鍵設備。交變高低溫箱內(nèi)的實際溫度是否與設定溫度和顯示溫度一致.箱體溫度是否準確，直接關系到產(chǎn)品的試驗是否有效.交變高低溫箱檢測的準確性對產(chǎn)品質(zhì)量有重要影響。經(jīng)過多年對單位質(zhì)量部交變高低溫箱的檢測實踐，證明我們的檢測溫度系統(tǒng)準確可靠。讓我們分析一下它的測量不確定性。

       1.測量不確定性的來源

       交變高低溫箱溫度的檢測由鉑電阻隨溫度變化，變化的電阻值通過高溫導線連接到溫濕度檢測器。溫度檢測器測量鉑電阻值，軟件計算每個點的相應溫度值，然后顯示打印檢測結果。影響檢測系統(tǒng)測量不確定性的方面如下：

       (1)鉑電阻數(shù)據(jù)誤差引起的規(guī)范不確定性U1。

       (2)溫濕度檢測儀數(shù)據(jù)誤差引起的規(guī)范不確定性U2。

       (3)測試箱內(nèi)溫度不穩(wěn)定導致精確測量規(guī)范的不確定性u3。

       (4)電阻器引起的高溫導線較長的精確測量規(guī)范U4。

       (5)自然環(huán)境標準(溫濕度).標準氣壓.開關電源.干擾信號等)引起的規(guī)范不確定性U5。

       由于連接鉑電阻的輸電線采用4線制，導線產(chǎn)生的偏差可以忽略U4.由于試驗箱放置在溫度控制室內(nèi)，通常的開關電源是通過溝通穩(wěn)壓管，因此可以忽略自然環(huán)境標準造成的偏差U5。

       從以上分析可以看出，交變高低溫箱的測溫系統(tǒng)可以滿足國家標準。